Questa sarà una risposta "Meta" riferita alle altre risposte per correggere alcune idee sbagliate.
Durante la produzione VLSI vengono utilizzate diverse risoluzioni di litografia ai vari livelli e SOLO i dettagli più moderni e più fini vengono utilizzati a livello di definizione GATE. Persino i passaggi precedenti alla definizione di silicio poliastico vengono eseguiti con strumenti litografici meno recenti (come la definizione di area attiva STI - LOCOS ecc.).
Il motivo è molto semplice, perché utilizzare gli strumenti più avanzati (e quindi più costosi) che utilizzano le maschere più costose per definire i livelli che intrinsecamente necessitano di una risoluzione inferiore?
In effetti, il metallo superiore tende ad essere molto spesso per supportare più corrente per prevenire l'elettro-migrazione e ridurre la resistenza delle barre di alimentazione.
Ad esempio, in un processo a 180 nm il gate viene definito utilizzando una litografia basata su laser KrF @ 248 nm con una maschera a cambiamento di fase 5X. Questo è usato anche per i contatti. Il metallo 1 potrebbe essere fatto in uno stepper rispetto all'utilizzo di i-line @ 365nm e anche una maschera 5X, ma senza correzione di fase applicata.
Il punto è che gli strati superiori del chip hanno una risoluzione molto più bassa e un tono molto più alto di quello che il processo è "definito come" - e anche quella definizione diventa funky per la maggior parte del tempo.
Il metallo superiore potrebbe avere una dimensione minima delle caratteristiche pari a 3um in quel processo di 180 nm sopra, ho verificato.
La passivazione della matrice superiore è in genere Si3N4 o poliimmide. Che è stato rimosso in quelle immagini.
Quindi la cosa più probabile è che quelle immagini siano effettivamente immagini di luce visibili scattate al microscopio. I colori possono essere dovuti al fatto che l'altezza delle strutture è nell'ordine della lunghezza d'onda della luce e ha effetti diffrattivi. Ma dal momento che non abbiamo scala non è sicuro essere definiti.
Ma potrebbe essere un ElectronMicrograph che è stato colorato per "bellezza". Sembra provenire da una copertina di un libro e chissà cosa fa il dipartimento artistico lì.
Quindi non sono disposto a dire uno degli altri che è ottico o SEM. @ W5VO osserva che la profondità di campo sembra troppo grande per l'ottica, e sono d'accordo. Ma non sappiamo scala qui, quella struttura potrebbe facilmente essere 10 di micron data l'era.
Non ho mai sentito parlare di un microgramma di elettroni - in base alle convenzioni di denominazione standard che si tradurrebbero in un "piccolo messaggio di elettroni", inoltre non riesco a trovare collegamenti a nulla che lo menzioni. Quindi mi piacerebbe sapere cosa potrebbe essere.